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超高纯电子特气系统中特气柜的主要组成部分

2020-11-07 10:36:21    责任编辑: 特气柜设计制造公司     0

WOFLY全自动特气柜(GC)是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备,通过SEMI S2认证,基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断(当设定报警信号被触发时),主要用于安全稳定输送特种气体。



现在我们来认识一下杏彩体育网 WOFLY特气柜上的一些主要组成部分:


1. 手动平衡阀手动阀门:似的以GN2来去有效控制,不建立动用CDA(clean dry air),因GN2的批发商程序是较好的,不因为断电或运作设施告警而超时,此手动阀门是用做智能或半智能的手动平衡阀件按钮。

2. 半自动控制阀:最主要采用第五道加固身为第五次查证或定检用,应该于批发商汽体的出口产品端。

3. 逆止阀(单通道阀):以免特气倒灌到的清洁用的PN2(高纯氮)平台和抽气用的GN2(普氮)平台。

4. 调压阀:广泛用于更改供应信息信息系统的供应信息信息各种压力。

5. 压力差传红外感应器器:是耐火板系統中无比极为重要的器件,互动交流它我是可以决定压缩空气管可否透漏,一些阀件可否很正常开关按钮,也也能检知设备的累计量。

6. 真空系统有器:使用GN2怏速变化有抽力,将聚氨酯保温管中的混合气体挤出,以触达抽气的意义。 

7. 固体滤出器:寻常在氧气瓶进出口端会装较为粗的滤出器,在出端会装较为细的滤出器,很好的滤出固体中的粒状,滤出器较容易吹扫,所有寻常不意见装在常吹扫的内部管道中。

8. 过总流量数据侦测器:对管线出现异常总流量数据来进行侦测,如果是小于确定值,即来判断管线上有机会多液化气泄漏,行而关闭系统性厂家直销系统性消停供汽。

9. 限流孔:有的是种简洁又可以有效的过水流量把握试验装置,从而局限性非常多有毒气休流回,基本用于用于出口处,其重要妙用是以防非常多的特有有毒气休出排,行政区域经济的有机废气补救机没有补救的情况下会发生。



 

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