光电器件工序中硅烷（SiH4）就是一种持种废水，在光电器件化工业中基本用作制成高纯多晶硅、进行CVD（化学式液相沉淀积累）工序制成二腐蚀硅聚酯溥膜、氮化硅聚酯溥膜、多晶硅隔离开层、多晶硅欧姆接处层和异质等。SiH4在食用后该存在的废水，如没有废水加工设备管治就会直接高溶度多对外谎称直接排放，对人的身体和情况的苛刻不良影响是是没办法估量的。
硅烷对于本身供给硅酚类化合物的空气源，不起作用性和问题性剧烈，有十分宽的自行火灾比率和与生俱来的复燃正能量，致毒特别大，若是人身体吸进去单硅烷就可以剧烈有趣喘气五官，是本身高危害性的空气。
在半导体芯片工业区中，因本职工作行政区域普遍离管理中心有机有机尾气物正确除理平台远，关键在于逃避在冗杂的res排气阶段中出现非预期想象的气物漏粪，局部性聚积等相关问题，硅烷（SiH4）有机有机尾气物从无尘车间室机台端(POU)作用被尾气出后，即先由真空度Pump抽至有机有机尾气物正确除理的设备Local Scrubber做正确除理，待正确除理前一天的气物再续接至厂务端做第二步道外理。
吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？
1. 以吸出桶截然处里系统氮氧化合物2. 还没有可燃物、无尘车间室内不会产生明火3. 节省成本资源、没得高能耗的市场需求4. 不可以消耗量水的资源，不存在废液整理大问题5. 抓好汽车尾气净化处理的安全可靠性净化处理时候中也没有导致6. 更好地处里废塑料，不损害地球上区域环境
综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的有机废气物净化处理机器设备Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。
