成都杏彩体育网 技术有限单位单位正规科研设置制做高纯加工过程固体操作系统电子无线特气加工过程排放操作环保设备local scrubberWFS-100F降解式local scrubber 烟气整理的设备可整理固体的种类涉及到半导体芯片、液晶拼接屏与日光能等业内中蚀刻制造与检查是否气相色谱沉淀积累制造中利用的特气，首要涉及到SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。