TFT-LCD（聚酰亚胺膜晶状体管lcd屏展示屏）就是一种基本条件的技术，自二十五时代一百三十多80年代逐渐民用型至今以来，它往事不能不追为现代化生话不能不或缺的结构地方，其操作远不仅限液晶电视和智能化智能机，它长期存在于企业此外生活的中生话中的方问题面：石英手表（可穿着机械设备）、小家电、广告投放、标识、新汽车等。现如今包括简单介绍两下展示加工技术需要要的珍禽有机废气实验室气体，和确认有机废气实验室气体安全保障气流输送应用的特气系统。

TFT展示屏制作业与光电器件电子器件制作业各方面有多类似于小细节，就像：这两种方式制作业进程中都想要在用很多甲烷空气、就像新工艺操作操作步骤中的沉积物、刻蚀、洁面和添加，有另外的操作操作步骤在用的甲烷空气型号也都相对较类似于。

哪些混合着的乙炔气中网络特殊工种混合着的乙炔气（ESG）有硅烷、三氟化氮、氟（現場会产生）、六氟化硫、氯气以其电镀锌氢混合着物，占提示屏研发中操作的混合着的乙炔气的52％。举个例子来说硅烷：SiH4是提示屏研发中最的关键的混合着的乙炔气的一种，与氯气（NH3）融合操作的，建成用作非晶硅（a-Si）氯化钠氯化钠尖晶石管的氮化硅层，与氢气（N2）融合操作的，建成用作低温环境多晶硅（LTPS）氯化钠氯化钠尖晶石管的预准氧分子激光手术固溶处理非晶硅（a-Si），或与腐蚀亚氮（N2O）融合操作的建成轻金属腐蚀物（MO）氯化钠氯化钠尖晶石管的腐蚀硅层。

TFT-LCD中的特气系统

为保证TFT显示屏制造中易燃易爆、剧毒性和腐蚀性等危险性电子特种气体的安全使用，都会安装特气系统。特气系统由半导体SEMI S2认证的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP以及特气管道组成，保证如硅烷、笑气（N2O）等特种气体的安全输送。

上述情况，TFT-LCD显视屏制造技术中PECVD（等阳离子体增強电学气相色谱积聚）、蚀刻、LTPS和MO结晶体管的产量都都要使用的机械作业空气，而特气系统中的SEMI S2身份认证的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP并且 特气管道网确保机械作业空气的安全卫生输送管，并确保空气饱和度和稳定可靠学习压力。