2021-01-08 14:00:18 责任编辑: 特气系统工程设计安装公司 0

四氟化碳(CF4)介绍:
四氟化碳(CF4)不是种结晶体无色无味的实验室混合气体,残毒、不烧燃,但在高盐浓度时兼备麻药的作用,且挥发物性较高,与可燃性实验室混合气体烧燃时,会吸附引发剧毒氟化物,兼备一段的产生性。在半导体芯片、一体化控制电路等网上企业产品生育中,等亚铁化合物外层刻蚀是属于种惯用的工艺设备,是应用典型性的气物组合公式进行存在极强蚀刻性的气相色谱等亚铁化合工件与工件外层的有机的物基体情况有机可逆反应迟钝,转化其他譬如CO,CO2,H2O等气物,关键在于达标蚀刻的目的意义。四氟化碳是保持刻蚀用途的属于日常气物。四氟化碳(CF4)在电离之后可能会出现含盐酸的成分的刻蚀性液相等铁离子体,要对各种类型无机单单从表面构建刻蚀及无机物避开,在晶圆生产、路线图板生产、太阳的光能电板板生产等行业领域中被诸多APP。
电子特气系统介绍:
电子厂特气系統由燃气管道安装端(CF4是空气设备燃气管道安装)、GC特气柜/GR特气架、空气球阀分配比例箱VMB/VMP、耐锈蚀的316L EP不锈无缝管道和空气探测报警灯系統等包含。电子特气被称为电子工业的“血液”,其纯度和清洁度直接影响着光电产品的质量、微电子元件的质量、集成度、的具体技术指标和良率,电子特气系统的作用就是保证各生产工艺的电子特气的纯度和安全稳定供应,从根本上保证了电子器件的准确性。

综上,电子四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾护航,保证四氟化碳(CF4)的纯度和安全稳定使用。