WFS-100A吸附式local scrubber 尾气处理设备
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空气加工净化处理专用设备可加工净化处理空气那个种类最主要包含半导体器件、显示屏或早上的单体电池等产业中蚀刻制造与无机化学气相色谱仪累积制造中实用的特气,最主要最主要包含SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。
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