对于特种工艺气体而言，由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应，因此需选用经电解抛光（Electro-Polish）处理的316L不锈钢管，即SS316L EP管，其耐腐蚀性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留，从而保证气体的纯度。

对平常氦气来说 ，是由于其并未有为制造中的的反应有机废气气体，都可并选择经光荣烧结法（Bright Anneal）处里的316L不锈焊管，即SS316L BA管，也都可采取经化学工业拆洗（Chemical Clean）处里的316L不锈焊管，即SS316L CC管。其Ramax为3-6微米换算。