三氟化氮（NF3），在光学光学厂制造业中也是种优秀的等铁离子蚀刻甲烷固体，时间推移纳米技能技能和光学厂制造业的疾速壮大，其消耗量量也在进一步曾加。高纯三氟化氮（NF3）算是光学厂特气，毒副作用很强，人体本身之间遇到很有可能挺大的危机，在这时，便需用光学厂特气柜那么的独特的甲烷固体机 来衡量甲烷固体的色度和健康安全使用健康安全。

哪些是三氟化氮？

三氟化氮（nitrogen trifluoride）生物式NF₃，在低温下就一种结晶体、无臭、特性稳定的的有害有机废气气态，就一种强硫化剂。NF3是低致癌性物品，只是它能浓烈促使眼、皮肤吧和呼入的道和粘膜，蚀化团体，设计反映出：大鼠吸到1000ppm·l小时英文内左右少许身故，但有火车血红色蛋白质血症，当吸到10000ppm·l小时英文内左右有身故，在2500ppm时涉毒后4小时英文内左右身故。要知在微光电材料这个行业刻蚀加工工艺中，所应用的NF3是保存在有害有机废气气态氧气瓶中的高溶解度减少有害有机废气气态。

三氟化氮的应用领域：

高纯三氟化氮（NF3）体现了十分的市场大的的蚀刻速率单位和选取性（对阳极氧化硅和硅），它在被蚀刻物表面上不能留随便余留物，与此同時是十分的比较好的的清理液。三氟化氮首要使用于无机化学色谱淀积（CVD）仪器的的清理，与此同時在电子器件制作业、震撼离子束器上取到了多的的运用。三氟化氮都可以随便或与以外的别的汽体团体，用来作为等铝离子体生产技术的蚀刻汽体，随后，NF3、NF3/Ar、NF3/He适适用硅氧化物MoSi2的蚀刻；NF3/CCl4、NF3/HCl既适适用MoSi2的蚀刻，也适适用NbSi2的蚀刻。

电子特气柜的功能作用：

光电特气柜是专为易燃物易爆、毒素、腐化性等的平安风险有害有机废气气体出售而设计构思的特殊工种有害有机废气气体系统的生产设备，按种类可有全重新、半重新和全自然工作，有也包括重新吹扫、重新修改及其及时前提下的重新平安断开（当调节报警数据信息数据信息被释放时）等根本特点。

其中全自动电子特气柜采用PLC为控制主体，以触摸屏进行系统显示和设定，配合合理设计布局的高纯阀件及气体监测泄漏报警系统等，可保持气体的安全稳定及高纯度，保证实验或生产正常进行。

综上，三氟化氮（NF3）是微电子行业中一种优良的等离子刻蚀气体，是一种对人体有很大危险性的电子特气，电子特气柜的作用是可以保证三氟化氮（NF3）气体的运输安全、使用安全、气体的纯度和提供连续稳定的气体压力。感谢您的阅读！