气体外理是生产加工操作过程中时不时被轻视但至关关键的形成区域，歷历上四个加重的事故案例，都是再次发生在不能安装程序碳排放、废气外理主设备的PCB电路板厂中。但现在的中国，废气外理仍往往被PCB电路板厂称作为制造费，而非是很安全故障 。

工厂安装尾气处理设备有三个主要原因：

一、、是身心健康和应急，半导体芯片、光伏系统和LED等车间不少应用的技术气态是易然、易爆的如H2或SiH4，和有害物质亦或耐挥发性的如COF2，HBr，F2等，在人与或原生态两栖动物碰触时候必需做正确处理。然后、是不少在使用的气物对场景是隐患的，如CF4，其使用年限约为 50,000年的气息，各国变热升值空间为二钝化碳的6.500倍。3、，是多印刷废气在暖湿气流中含有多的颗粒剂或积尘。 举例子，一种积尘常在来源于硅烷（SiH4）的火成岩具体步骤中呈现，生理反应的硅烷呈现是 废弃物的异常细的粉尘爆炸浓度的二防氧化硅。 一种积尘有机会捣乱系统排气阀，造成 生产加工电子厂以外停止设备运转。 使粉尘爆炸浓度不好进行处理的是孔径常为亚微米换算，或者轻松根据湿式清洗器或电磁学脱水器而不被困与此，无法离开在清洗液中。

因此，尾气处理设备是制造设施的重要组成部分。典型的尾气处理设备位于子晶圆厂中，放置在真空泵之后。工艺废气在无尘室机台端(POU)反应被排放出后，即由真空Pump抽至Local Scrubber做处理，避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏，局部聚积或相互反应。

待清理后后的大气再转续至厂务端国家清理系統做第二点道防范，以缩短厂务端大气废气物清理上的功率，高于对半导体芯片业大气大气生态破坏监管及废气的标。

之前的三个最主要原因只是并于半导体机器系统、太阳能光伏和LED等厂重新装设汽车气体工作机器系统的最主要最主要原因了，汽车气体工作机器系统的重新装设，但是不管是在气体治理环境更是生产加工创造安全管理等工作方面，皆是生产加工创造创造中的必不可少机器系统。非常谢谢你们的查看！